🤝 このような微細な穴あけ加工を可能とするために、酸溶液に感光剤を添加して感光性を持たせた感光性ポリイミドも実用化されている。 日本ではJOLEDが有機ELの事業化を目指していますが、現状では有機ELのほとんどは海外メーカーが作っています。
4🤣 今回は、経済産業省が韓国に対し「フッ化ポリイミド」「レジスト」「フッ化水素」の輸出に関して規制を行ったニュースやそれら3品はどのようなものなのか、また韓国政府が騒いでいる理由についてまとめてみました。 フッ化ポリイミドは、ポリイミドの特性に加えてさまざまな分野で要求される特性を有する化学製品で、世界生産量の約9割を日本が占めています。
8⚒ フッ化ポリイミド・レジスト・フッ化水素輸入規制の今後に注目 今回の日本政府の決定は、韓国に対し大打撃を与えるものに間違いありません。 したがって、成形やコーティングに用いる場合はポリアミド酸の溶液で利用し、その溶液を乾燥させることで所望のフィルムや成型物、コーティング膜が得られた後にイミド化させてポリイミドを得る。 この全てが、最先端APを搭載しているというわけでは無いかもしれないが、EUVレジストの在庫が1カ月しかなく、最先端APの製造が2カ月間も滞ったら、もしかしたら1000万台単位のスマホの生産に影響が出るだろう。
17✔ 製造方法 [ ] 2段法 [ ] 現在工業的に利用されているもっとも一般的な合成方法である。 世界の半導体企業はほとんど日本からの輸入しており、そして急に代替先を見つけるのは同じく難しいとされています。
2☢ フッ化水素とは フッ化水素とは、別名「エッチングガス」とも呼ばれており、半導体のシリコン基板の洗浄に使われる物体です。 日本の企業が海外へ商品を輸出する時、軍事転用の恐れがある物質を規制する法律が「外国為替及び外国貿易法(外為法)」の「輸出貿易管理令」です。
12💅 有機ELの液晶と比較したもう一つのアピールポイントは「曲げられる」という点です。 ここで R および R' が芳香族である場合を 芳香族ポリイミドと呼び、工業的に利用されるほとんどのものがこの芳香族ポリイミドである。
13🤟 の絶縁層に用いる場合、ポリイミドのフィルムに層間の電気的接続を確保するための導通孔(スルーホール)を開ける必要がある。 しかし、少し視点を変えてみると、有機ELの液晶との差別化というポイントが見えてきます。
7👇 1)各種のメタル、ポリSi、絶縁膜などを成膜する前の洗浄工程 フッ酸は、Deionized water(DI water)と呼ばれる極めて純度の高い純水と、ある混合比で希釈され、主として一度に数百枚を処理するバッチ式洗浄装置で使用される 2)CMP後の洗浄工程 フッ酸を水酸化アンモニウム(NH 4OH、いわゆるアンモニア水)などと混合し、主としてバッチ式装置で洗浄する 3)ダブルパターニングにおける犠牲膜のウエットエッチング工程 フッ酸の原液を使用し、主としてバッチ式ウエットエッチング装置が使われる 4)ウエハーの裏面洗浄工程 例えば、ウエハー裏面に付着したSiNを除去するために、フッ酸を水酸化アンモニウムなどと混合して、ウエハー1枚ごとにスプレー洗浄する。
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